Plasma

Sifat Plasma

* plasma adalah gas yang terionisasi sebagian terdiri dari elektron, ion dan atom netral atau molekul
* Elektron plasma bersuhu jauh lebih tinggi dari pada spesies gas netral, biasanya sekitar 104 K, walaupun gas plasma secara keseluruhan pada suhu sekitar dekat
* Kepadatan plasma elektron biasanya sekitar 1010 cm-3



Pembentukan Plasma

* Sebuah medan listrik osilasi RF dihasilkan di wilayah gas, baik melalui penggunaan piring kapasitif atau melalui induksi magnetik
* Pada tekanan cukup rendah efek gabungan dari percepatan medan listrik elektron dan hamburan elastis dari elektron dengan atom netral atau garis-garis medan menyebabkan pemanasan elektron
* Ketika elektron mendapatkan energi kinetik yang melebihi ambang ionisasi pertama dalam spesies gas netral, tabrakan elektron-netral menyebabkan ionisasi lebih lanjut, menghasilkan elektron bebas tambahan yang dipanaskan pada gilirannya.

Interaksi-Permukaan Plasma

* Energi dari elektron dan ion plasma cukup untuk mengionisasi atom netral, memecah molekul selain untuk membentuk spesies radikal reaktif, menghasilkan keadaan tereksitasi dalam atom atau molekul, dan lokal panas permukaan
* Tergantung pada proses dan parameter gas, plasma mampu kedua kerja mekanik, melalui efek ablatif transfer kinetik dari elektron dan ion dengan permukaan, dan bekerja kimia, melalui interaksi spesies radikal reaktif dengan permukaan
* Secara umum, plasma dapat berinteraksi dengan dan mengubah permukaan melalui beberapa mekanisme: ablasi, aktivasi, deposisi, cross-linking dan grafting.